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Jun 11, 2023

INFICON détaille son Magnésium

Il s'agit d'un article sponsorisé par INFICON Les producteurs d'OLED ont du mal avec le dépôt de matériaux de magnésium pendant le processus de production d'OLED. INFICON a développé des

Ceci est un article sponsorisé par INFICON

Les producteurs d'OLED ont été confrontés au dépôt de matériaux de magnésium pendant le processus de production d'OLED. INFICON a développé des cristaux de haut niveau sensibles au magnésium spécifiquement pour le dépôt OLED, qui réduisent considérablement le délai initial de surveillance du magnésium, tout en maintenant une stabilité et une reproductibilité élevées.

La note d'application suivante détaille les cristaux INFICON pour le dépôt OLED, le processus de développement et les expériences réalisées par la société pour caractériser et évaluer la qualité des cristaux afin de s'assurer qu'ils offrent la meilleure solution possible pour l'industrie OLED.

La microbalance à cristal de quartz (QCM) est l'un des produits INFICON les plus importants pour la fabrication de diodes électroluminescentes organiques (OLED) et de dispositifs optiques, ainsi que pour de nombreuses autres applications. Le changement de fréquence de résonance du QCM dû à la charge de masse exercée par les films minces lui permet d'être utilisé comme substitut pour corréler le taux d'accumulation d'épaisseur de film sur un substrat. La conception des cristaux de capteur de haute précision INFICON était basée sur l'exigence de nombreux fabricants d'OLED™ de cristaux plus stables et moins sujets aux baisses d'activité (instabilité du signal d'activité) lors du contrôle du dépôt de matériaux OLED. Il a été démontré que les performances sur le terrain des cristaux de capteur de haute précision INFICON améliorent la stabilité du taux avec des baisses d'activité presque éteintes en termes de nombre d'occurrences ainsi que d'ampleur lorsqu'elles se produisent rarement. Reportez-vous à la note technique du capteur de haute précision Crystal Line disponible en utilisant ce lien.

Bien que les cristaux de capteur de haute précision INFICON offrent une grande stabilité à des fins générales de surveillance des dépôts, certains matériaux de dépôt n'interagissent pas bien avec l'électrode métallique sur le cristal. Le magnésium (Mg), un matériau cathodique important dans les processus de fabrication des OLED, représente l'un de ces matériaux. En général, les cristaux QCM conformes aux normes industrielles actuelles mettent très longtemps, de l'ordre de plusieurs dizaines de minutes à plusieurs heures, pour refléter le véritable taux de dépôt de magnésium sous vide. La période de retard au cas par cas diffère selon les différentes configurations d'installation de cristaux dans une chambre à vide et est en général inversement proportionnelle à la vitesse de dépôt de Mg. Il est également à noter que le retard du Mg est plus important en utilisant des électrodes en cristal d'alliage qu'en utilisant des électrodes en cristal d'or.

Il n’existait auparavant aucune solution pour une détection rapide du magnésium dans l’industrie OLED. Les utilisateurs ont dû contourner ce problème de retard de Mg en recouvrant les cristaux de Mg dans la même chambre à vide avant la surveillance réelle du dépôt. Cette étape supplémentaire de pré-revêtement Mg prend un temps considérable et impose au client des matériaux coûteux et gaspillés. De plus, cette procédure de pré-revêtement ne peut pas être réalisée par INFICON ou d'autres fabricants de cristaux puisque le revêtement de Mg ne peut pas survivre à l'exposition à l'atmosphère pendant le transport ou le stockage. Une nouvelle solution dans la technologie des cristaux qui permet une détection rapide et stable du magnésium sans la procédure de pré-revêtement coûteuse et longue est désormais disponible.

Pour développer la gamme de cristaux OLED sensibles au magnésium INFICON, une enquête détaillée a été réalisée sur tous les composants des paramètres de fabrication et de traitement des cristaux, y compris la forme et la finition du cristal, l'épaisseur de l'électrode, les matériaux de l'électrode et le taux de revêtement de l'électrode. Les matériaux et les paramètres du processus ont été optimisés en fabriquant une grande variété de cristaux, en les testant et en analysant minutieusement les résultats. En utilisant des matériaux optimisés et des paramètres de processus éprouvés dans la recherche et les études sur le terrain, les cristaux OLED sensibles au magnésium INFICON sont nés. Ceux-ci, ainsi que tous les cristaux INFICON, Maxtek et Fil-Tech, sont fabriqués chez INFICON EDC, Inc. au Kansas, aux États-Unis. INFICON propose actuellement des matériaux d'électrode en or et en alliage pour la gamme de cristaux OLED standard Mg Sensitive. De plus, une gamme de produits de cristaux sensibles au magnésium de qualité supérieure et plus stables (essentiellement exempts de baisses d'activité) est également disponible pour les deux matériaux d'électrode. Les numéros de pièces des gammes High Grade et Standard de cristaux OLED Mg Sensitive sont répertoriés dans le tableau ci-dessous.